一、產(chǎn)品概述
SR系列膜厚傳感器提供快速、穩(wěn)定的膜厚在線量測(cè)解決方案。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 操作簡(jiǎn)便、小巧易安裝；
■ 高速、高分辨率；
■ 多款定制測(cè)頭滿足多場(chǎng)景需求；
■ 寬光譜涵蓋多膜厚需求應(yīng)用；
■ 適用在線膜厚量測(cè)與質(zhì)量評(píng)估；
■ 寬光譜實(shí)現(xiàn)多應(yīng)用場(chǎng)景需求。
三、測(cè)量原理
技術(shù)參數(shù)
*1：用玻璃的折射率1.5計(jì)算
*2：用硅的折射率3.67計(jì)算
*3：測(cè)量500 nmSiO2厚度的1σ
*4：測(cè)量厚度大于30µm的Si膜的1σ
武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國(guó)內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測(cè)量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國(guó)內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢(shì)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。
公司注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、平板顯示、LED照明、存儲(chǔ)、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。
