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MX63/MX63L 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

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產(chǎn)品型號MX63/MX63L

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更新時間：2022-09-11 10:18:01瀏覽次數(shù)：298次

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南京崛宇精密儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

滿足電子行業(yè)需求功能性為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力人性化簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松

詳細介紹

滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力

人性化

簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

*的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。

模塊化

用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進行系統(tǒng)定制。

*的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)
果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用*的圖像處理技術(shù)，高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生
成具有專業(yè)級的報告。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

高效的報告創(chuàng)建
創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報告。編輯非常簡單，報告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進行數(shù)碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套*的獨立系統(tǒng)。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

快速尋找焦點：聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實現(xiàn)諸如裸晶片之類低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡單。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現(xiàn)快速觀察

對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學(xué)設(shè)計實現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。

為質(zhì)量檢驗提供精細的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和*數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的
一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

的光學(xué)性能：
波陣面像差控制

物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。

始終一致的色溫：
高強度白色LED照明

MX63系列采用高強度白色LED光源進行反射和透射照明。無論光強度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩復(fù)現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長壽命照明。

精確測量：自動校準

與數(shù)碼顯微鏡類似，當使用奧林巴斯Stream軟件時可實現(xiàn)自動校準。自動校準有助于消除校準過程中的人為偏差，保證了更可靠的測量。自動校準采用的算法可根據(jù)多個測量點均值自動
計算正確的校準值。由此限度減小了因不同操作者所導(dǎo)致的偏差，并始終保持穩(wěn)定的精度，提高了常規(guī)驗證的可靠性。

*清晰的圖像：
圖像陰影校正

奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強度閾值設(shè)置使用時，陰影校正可實現(xiàn)更加精確的分析。

技術(shù)規(guī)格

		MX63	MX63L
光學(xué)系統(tǒng)		UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架	反射光照明 (FN 26.5)	白光LED (帶有光強管理器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈明場/暗場/分光鏡組，手動切換。(分光鏡為選配件。) 通過手動操作更換3位置分光鏡編碼內(nèi)置電動孔徑光闌 (針對每個物鏡預(yù)設(shè), 暗場觀察時自動全開) 觀察模式: 明場、暗場、微分干涉 (DIC)1, 簡單偏振1, 熒光1, 紅外1 和MIX觀察 (4個定向暗場) *1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置
	透射光照明 (FN 26.5)	需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA 帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場光闌:MX-TILLB 光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 導(dǎo)光:LG-SF 觀察模式: 明場, 簡單偏振
	聚焦	行程：32毫米每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米最小分度:1微米用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
	負載重量(包括載物臺和支架)	8 kg	15 kg
觀察筒	寬視場 (FN 22)	正像三目觀察筒:U-ETR4 正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2 倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目觀察筒:U-BI30-2 倒像傾斜式雙目觀察筒：U-TBI30
	超寬視場 (FN 26.5)	正像傾斜式三目觀察筒：MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡):0 (相機) 或0:99%) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) :0 (相機) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3
電動物鏡轉(zhuǎn)盤		明場六孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6REMC 五孔可調(diào)中心電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5REMC 明場和暗場六孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6BDREMC 五孔電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D5BDREMC 五孔可調(diào)中心電動轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5BDREMC
載物臺 (X × Y)		帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC8R 行程:210 x 210毫米透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄: MX-SIC6R2 行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光)	帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305毫米透射光照明區(qū)域：356 x 284毫米
重量		約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤)	約64公斤 (顯微鏡架44公斤)