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上海維翰光電科技有限公司


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超g分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品說(shuō)明: 1.采用*異的成像技術(shù) SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子...

詳細(xì)介紹

1.采用*異的成像技術(shù) SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào),用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更*面的樣品信息。 2.采用多通道成像技術(shù) 隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng),SU7000特新增了幾種探測(cè)器,還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000*多可同時(shí)顯示和保存

1.采用*異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào),用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更*面的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng),SU7000特新增了幾種探測(cè)器,還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000*多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的*大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
1.大型樣品觀察;2.低真空觀察;3.超低溫觀察;4.實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉(cāng)和真空系統(tǒng)都shi分完備,觀察方法也是yi應(yīng)俱quam。

4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍,*大束流可達(dá)到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉(cāng)形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等,接口設(shè)備可通過(guò)選配附件滿足各種特s需求。
成像能力
追求信息*大化的檢測(cè)系統(tǒng)

隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化,對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下,更*效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更*面的信息收集。

 
同一條件觀察
樣品:包裹有機(jī)物的金屬棒

通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 (加速電壓:1 kV)

 
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào),UD可獲取表面微細(xì)形狀信息,MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息,LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下,實(shí)現(xiàn)了獲取信息的*大化。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)
優(yōu)化信號(hào)顯示功能

成像單元在信號(hào)顯示上也作了*新升級(jí)。用戶可根據(jù)觀察需求,選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。
單屏*多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉(cāng)內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像,快速顯示目標(biāo)圖像。
使用雙屏顯示時(shí),可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像,另一個(gè)顯示屏專門用來(lái)顯示信號(hào),*多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。

高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r,可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息,也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫(huà)面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。

 
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來(lái)顯示圖像,2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫(huà)面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過(guò)SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出
UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫(huà)面中顯示,界面
布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí),操作性能也得到了進(jìn)一步提升。

可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉(cāng)和馬達(dá)臺(tái)
 

 
樣品倉(cāng)外觀標(biāo)配18個(gè)附件接口                               馬達(dá)臺(tái)外觀XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm

樣品倉(cāng)可搭載*大直徑為φ 200 mm;*高80 mm的樣品。大開(kāi)倉(cāng)設(shè)計(jì),標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸*大移動(dòng)距離為135×100 mm,*重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*全不成問(wèn)題。

支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí),可以選用PD-BSED(背散射電子探測(cè)器)、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。 
低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過(guò)MD(背散射電子),右圖為通過(guò)UVD(二次電子)探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED:響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度,約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像;右圖抑制了圖像的漂移,使得整體的畫(huà)質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高,更適用于In-Situ觀察。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目 內(nèi)容
圖像分辨率 二次電子分辨率 0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率 20~2,000,000 x
電子槍 發(fā)射體 ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射(肖特基熱場(chǎng)發(fā)射)
加速電壓 0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV)
束流 *大200 nA
探測(cè)器 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 UD (上探測(cè)器)
MD (中探測(cè)器)
LD (下探測(cè)器)
選配探測(cè)器*1 PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器)
UVD(高靈敏度低真空探測(cè)器 )
低真空模式*1 樣品倉(cāng)壓力范圍 5~300 Pa
可使用探測(cè)器 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái) 馬達(dá)臺(tái)控制 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍 X 0~135 mm
Y 0~100 mm
Z(WD) 1.5~40 mm
T(傾斜角) -5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角) 360°
樣品尺寸 *大直徑:φ200 mm, *大高度:80 mm
顯示器*1 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式 全屏顯示模式 1,280×960像素顯示
單屏顯示模式 800×600像素顯示
雙屏顯示模式 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式 640×480像素顯示
六屏顯示模式*2 640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存 保存圖像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件 能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測(cè)器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺(tái)
*1為選配項(xiàng)。
*2支持雙屏顯示。


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