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日本電子JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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日本電子JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAM^TM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：

◇ 半浸沒式物鏡

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場(chǎng)，因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來(lái)能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍銃