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RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

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產(chǎn)品型號RTP-6

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海市

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更新時間：2024-10-23 20:48:14瀏覽次數(shù)：111次

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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

詳細介紹

RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

RTP-6升溫速率可達80℃/s。

RTP-6采用拋物線形的黃金反射面，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開發(fā)。可用于半導(dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過程退火。

應(yīng)用：

	特點：
	快速熱處理
	腔體采用水冷，可進行快速降溫
	真空置換氣氛后，可采用流動氣氛進行熱處理
	溫度程序設(shè)置和外部信號輸入可以通過腦輕松控制
	加熱過程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
	石英保護板（可選）可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
	配備了各種安全措施
	九個獨立的加熱區(qū)可實現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制

組成：