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FM-SWM鍵合晶圓/封裝晶圓翹曲應(yīng)力測量系統(tǒng)

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FM-SWM晶圓翹曲及應(yīng)力測量系統(tǒng)

FM-FFS200自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

晶圓全場三維翹曲及納米輪廓測量晶圓薄膜應(yīng)力測量晶圓宏觀缺陷及薄膜均勻性成像

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

原廠參數(shù)： FM-SWM晶圓宏觀缺陷及薄膜均勻性檢測系統(tǒng) /solutions/swm/

FM-SWM晶圓翹曲及應(yīng)力測量系統(tǒng)

產(chǎn)品功能

晶圓全場三維翹曲及納米輪廓測量
晶圓薄膜應(yīng)力測量
晶圓宏觀缺陷及薄膜均勻性成像

檢測對象

拋光晶圓(硅，砷化鎵，碳化硅等材料)，圖形化晶圓，鍵合晶圓，封裝晶圓

面向行業(yè)

半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)

SWM晶圓檢測系統(tǒng)功能

一張圖片介紹SWM晶圓檢測系統(tǒng)

規(guī)格參數(shù)

FM-SWM系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

非接觸式全場晶圓翹曲測量

測量對象：拋光晶圓，圖形化晶圓（圓形，方型，開孔等）
均勻全口徑采樣，最小采樣間隔：0.1mm
檢測口徑 2 寸 - 8 寸/12 寸全口徑（可根據(jù)需求調(diào)整）
自動輸出三維輪廓，曲率，薄膜應(yīng)力，以及表面瑕疵
測量無需晶圓調(diào)平，單次測量時間：10-30s （隨采樣間隔變化）

三維翹曲

晶圓翹曲量范圍： 200nm - 10mm （根據(jù)晶圓尺寸）
輪廓測量局部分辨率：20nm
輪廓測量重復(fù)精度：100nm
低頻-高頻翹曲軟件分析
薄膜表面檢測
瑕疵檢測：裂紋，麻點，不均勻
裂紋分辨率：50um （分辨率可根據(jù)用戶需求調(diào)整）

薄膜應(yīng)力測量

測量范圍：2MPa – 5000MPa
重復(fù)性：2MPa
相對精度：1%
樣品溫度范圍：室溫—300 度

SWM晶圓檢測系統(tǒng)的應(yīng)用示例

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