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行業(yè)產(chǎn)品

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北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司


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AFM-IN探針移動掃描原子力顯微鏡

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時(shí)間：2025-05-20 07:35:23瀏覽次數(shù)：2次

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產(chǎn)品簡介

AFM-IN工業(yè)型原子力顯微鏡系先實(shí)現(xiàn)樣品保持不動，探針移動掃描的原子力顯微鏡，采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精確度掃描，適合樣品尺寸、重量基本不受限制，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

afm-in-1_555x0.jpg

AFM-IN工業(yè)型原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 先實(shí)現(xiàn)樣品保持不動，探針移動掃描的原子力顯微鏡；
  • 先采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精確度掃描；
  • 樣品尺寸、重量基本不受限制，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測；
  • 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺；
  • 大行程二維電動樣品移動臺，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域；
  • 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；
  • 簡易的激光光斑調(diào)節(jié)方式，可通過光學(xué)CCD窗口實(shí)時(shí)觀測及調(diào)節(jié)光斑；
  • 單軸驅(qū)動掃描頭自動垂直接近樣品，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，針尖垂直于樣品掃描；
  • 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；
  • 配備封閉式金屬屏蔽罩，氣動式減震臺，抗干擾能力強(qiáng)，不影響儀器使用操作；
  • 集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。

應(yīng)用范圍

AFM-IN工業(yè)原子力顯微鏡

技術(shù)規(guī)格

基本工作模式接觸、輕敲、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
選配工作模式Profile線快速測量模式
Zui大樣品尺寸Φ≥300mm，H≥50mm
閉環(huán)掃描范圍XY向100um，Z向10um
閉環(huán)掃描分辨率XY向0.2nm，Z向0.05nm
樣品移動范圍300mm×300mm
輔助光學(xué)定位10X物鏡，光學(xué)分辨率1um（可選配20X，光學(xué)分辨率0.8um）
氣動式減震臺減震頻率0.5Hz
噪音水平＜0.1nm
掃描速率及角度掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
掃描控制XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
數(shù)據(jù)采樣14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
反饋方式DSP數(shù)字反饋
反饋采樣速率64.0KHz
通信接口USB2.0/3.0
運(yùn)行環(huán)境WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)


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