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行業(yè)產(chǎn)品

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等離子清洗機(jī) YSP63FA

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更新時(shí)間：2023-09-02 14:07:05瀏覽次數(shù)：228次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購(gòu)品）。

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

型號(hào)

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購(gòu)）

高頻輸功率

600W

反應(yīng)臺(tái)尺寸

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）

反應(yīng)氣體

2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm


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