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緊湊型等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)CY-CP

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹：緊湊型等離子清洗機(jī)帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器，以及鉸鏈門(mén)。適用于各種氣體對(duì)2英寸以下晶圓片的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下，有機(jī)去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機(jī)是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具，可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn)：

1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級(jí)有機(jī)污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T(mén)，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。

緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

射頻功率

射頻功率（線(xiàn)圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個(gè)級(jí)別調(diào)節(jié)：

低設(shè)置	680V	10 mA	7 W
中等設(shè)置	700V	15 mA	11 W
高設(shè)置	720V	25 mA	18 W

等離子室

?3"直徑×6.5"長(zhǎng)的石英室

?700 mL容量

?高純度石英室比玻璃具有更長(zhǎng)的使用壽命

真空計(jì)和顯示器

?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門(mén)上。

?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。

?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。

真空泵

包括一個(gè)雙級(jí)旋片式真空泵

輸入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相

工作氣體

?可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類(lèi)型。

?可以使用<5％H2混合惰性氣體

?等離子清潔器不得使用。

整體尺寸

凈重

40磅

保證

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無(wú)保修)

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)，僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)，會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請(qǐng)與本公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，本公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請(qǐng)您見(jiàn)諒。

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