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鋰離子電池電極應(yīng)力測量系統(tǒng)

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

鋰離子電池電極應(yīng)力測量系統(tǒng)

詳細介紹

詳細說明:

采用多光束光學(xué)傳感器系統(tǒng)(kSA MOS)原位實時應(yīng)力測量分析,可研究鋰離子電池反應(yīng)動力學(xué)過程中或在正常使用過程中內(nèi)部會產(chǎn)生應(yīng)力,對其電化學(xué)性能的影響;即就是在充放電過程中鋰離子電池外殼表面的應(yīng)力變化,得到了充放電循環(huán)中鋰離子電池電極表面的應(yīng)力大小與電荷狀態(tài)的關(guān)系;進而分析充放電過程中應(yīng)力變化的異同,即產(chǎn)生不可逆應(yīng)力,充放電曲線不重合。

測試示意圖:

充放電過程:

動力學(xué)循環(huán)過程:

原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)kSA MOS Film Stress Measurement System,又名原位薄膜應(yīng)力計或原位薄膜應(yīng)力儀!
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采用非接觸激光MOS技術(shù);不但可以精確的對樣品表面應(yīng)力分布進行統(tǒng)計分析,而且還可以進行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析;客戶可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點進行測量;并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描,從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響;同時提高測試的分辨率;適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析;

典型用戶:Harvard University 2套,Stanford University,Johns Hopkins University,Brown University 2套,Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute,西安交通大學(xué),中國計量等、半導(dǎo)體制和微電子造商(如IBM.,Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC,Nissan ARC,Nichia Glass Corporation)等;


相關(guān)產(chǎn)品:
*實時原位薄膜應(yīng)力儀(kSA MOS Film Stress Tester):同樣采用多光束MOS技術(shù),可裝在各種真空沉積設(shè)備上(如:MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects),對于薄膜生長過程中的應(yīng)力變化進行實時原位測量和二維成像分析;
*薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)(kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester)
*薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)(kSA MOS Film Stress Measurement System)

設(shè)備名稱:
kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System,kSA MOS Film Stress Mapping System;

主要特點:
1.MOS多光束傳感器技術(shù);
2.單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計;
3.適合MOCVD, MBE, Sputter,PLD、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等;
4.薄膜應(yīng)力各向異性測試和分析功能;
5.生長速率和薄膜厚度測量;(選件)
6.光學(xué)常數(shù)n&k 測量;(選件)
7.多基片測量功能;(選件)
8.基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能;(選件)
9.實時光學(xué)反饋控制技術(shù),系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點;
10.專業(yè)設(shè)計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響;

測試功能:
1.實時原位薄膜應(yīng)力測量
2.實時原位薄膜曲率測量
3.實時原位應(yīng)力*薄膜厚度曲線測量
4.實時原位薄膜生長全過程應(yīng)力監(jiān)控等

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