一.AT-XTB-60B光刻膠涂布試驗機產品介紹：
本儀器由精心研制高精度精密型涂布試驗機，本機主要應用于蓋板玻璃的各種涂膠作業(yè)而開發(fā)設計的專用裝置，同時也可以用于其他類似材料的涂布。本涂布試驗機，底板采用微孔陶瓷吸附平臺，同時采用非接觸式狹縫式涂布頭，通過進料壓力，狹縫寬度調節(jié)，以及狹縫頭與底板間隙三個因數控制濕膜厚度，同時軟件系統(tǒng)增加了高度調節(jié)與反饋系統(tǒng)，大大提高了涂布精度與均勻性。
應用場景：針對微米級特別是納米及亞微米級功能性涂層的涂布試驗、墨水調試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等。
涉及行業(yè)：包括水凝膠、液態(tài)金屬、智能包裝材料、光電材料、光刻膠、功能涂層、微電子及半導體封裝等大面積涂布制備，以及氫燃料電池膜電極、電解水制氫膜電極、鋰電池、各種活性催化劑、異質結太陽能電池、薄膜太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池、有機太陽能電池、OLED柔性穿戴器件、有機場效應晶體管,導電聚合物,納米線和納米管,二維材料,有機發(fā)光二極管和鈣鈦礦發(fā)光二極管、鈣鈦礦光伏電池、鋰離子電池的電解質和電極、染色敏感性太陽能電池、電子皮膚等器件的制備。
二.AT-XTB-60B光刻膠涂布試驗機技術參數：
1.工藝流程： 手動放料--刮涂--手動取料，依次循環(huán)
2.設備結構：封閉式
3.陶瓷吸附規(guī)格： 工作區(qū)域 ① 450mm(W)×550mm(L)。 ② 155.21mm(W)×136.2mm(L)。 可以獨立工作（其他工作區(qū)域可選）
4.適用玻璃厚度范圍：0.03-1.5mm
5.涂膠工作臺高度：900±20mm可調整
6.適用涂布液：各種液態(tài)光學膠或感光膠
7.膠體粘度：5cps～6000cps （23±2℃時）。 （不同粘度范圍需以不同厚度Shim
片對應）。
8.涂布干膜厚度范圍：2～800um。 （根據涂布液固含量不同厚度范圍有波動）
9.有效涂布范圍內涂布均勻性：3%-5%（除去涂布范圍周邊5-10mm之內部）。
10. 涂布寬度：依玻璃基板尺寸及底部貼PET膜的預留無效邊而定，用不同開口的Shim片對應。
11. 涂布有效范圍：玻璃基板整面有效，無效區(qū)為基板底部PET 膜四周多出的部分。
12. 機內凈化：機臺頂部FFU上吹風，機臺底部預留抽風口。
13. FFU安裝位置：設備頂部
14.基板厚度確認：測厚儀測量值（基板為含PET底膜厚度的整體厚度）。
15.涂布方式：龍門式狹縫刮膠涂布方式。
16.刮膠驅動：直線電機/伺服電機可選 高度調整電機為步進電機
17.升降行程：150mm
18. 涂膠厚度檢測：Keyence感應器非接觸檢測。（選配）
19.涂布GAP控制精度：進料段Keyence測厚儀控制涂膠Gap，檢測精度±5微米
20.平臺平面度：10-15um。
21.平臺材質：多孔陶瓷真空平臺。
22.平臺有效尺寸：450mm×550mm。
23.真空區(qū)域：2個 可獨立工作
24.吸附平臺框架材質：不銹鋼
25.刮刀數量：2組(1組大尺寸500X120X100mm、1組小尺寸205x120x100mm）。
26.狹縫刮刀尺寸：大尺寸500X120X100mm、小尺寸205x120x100mm）。
27.刮刀材質：630不銹鋼
28.墊片數量：每個狹縫涂布頭標配墊片2張（墊片厚度客戶自己選擇）
29.注膠管路：兩套管路系統(tǒng)，對應一組泵（一套管路打樣測試使用，另外一套管路量產使用）。
30.進膠方式：伺服計量泵 齒輪泵適5-9000cps粘度膠體）。/注射泵式上料可選
31.計量泵流量范圍：1.8-21.6ml/min
32.計量泵電機參數： 臺達伺服電機 /0.4KW/220V/3000rpm
33.計量泵結構： 電機/減速機/齒輪泵/控制系統(tǒng)
34.計量泵控制方式：7寸觸摸屏
35.刮膠預涂機構：涂布前手動無塵清潔刀口。
36.刮刀預干浸槽：可移動接料盒。
37.真空消泡功能 ：有
38.真空消泡罐參數：2L 不銹鋼桶體，透明觀察蓋。
39.進膠量控制：HMI上設定伺服泵參數控制進膠量。
40.下機架材料：鋁合金框架或SS41#表面靜電烤粉。
41.下封板材料：不銹鋼亮面板。
42.上機架材料：SUS304型材或鋁合金型材機架。
43.上機架封板：透明PC門葉封板。
44. 面板控制：PLC＋HMI（觸摸屏人機介面）控制
45.平臺吸附真空泵：采用水循環(huán)真空泵
46.涂布速度：1-200mm/min
47.電源電壓：220V 50Hz 800W
QQ:2568841715
