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SM230_自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度掃描測(cè)繪儀

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品       牌

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綜合概述SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪儀

詳細(xì)介紹

綜合概述

SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪儀。 它利用波長(zhǎng)范圍最寬為200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要薄膜有一定程度的透射,SM230就能根據(jù)反射回來(lái)的干涉光譜擬合計(jì)算出薄膜的厚度,以及其他光學(xué)常數(shù)如反射率、折射率和消光系數(shù)等,其厚度測(cè)繪范圍可以達(dá)到5nm~250um。

SM230自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測(cè)繪儀由測(cè)繪主機(jī)、測(cè)繪平臺(tái)、Y光纖及上位機(jī)軟件搭建而成,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的旋轉(zhuǎn)平臺(tái),結(jié)合奧譜天成的算法技術(shù),為用戶提供的全新一代的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測(cè)繪儀。

 

產(chǎn)品特征

非接觸式、非破壞性的測(cè)試系統(tǒng);

超長(zhǎng)壽命光源,更高的發(fā)光效率;

高分辨率、高靈敏度光譜儀,測(cè)繪結(jié)果更準(zhǔn)確可靠;

軟件界面直觀,操作方便省時(shí);

測(cè)繪速度快,支持多點(diǎn)測(cè)繪點(diǎn)位地圖繪制;

支持繪制樣品2D/3D厚度分布圖;

高精度、長(zhǎng)壽命的3軸旋轉(zhuǎn)平臺(tái);

歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ),幫助用戶更好掌握結(jié)果;

桌面式分布設(shè)計(jì),適用場(chǎng)景豐富;

維護(hù)成本低,保養(yǎng)方便;

 

應(yīng)用領(lǐng)域

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)繪,這幾乎包含了所有的電介質(zhì)和半導(dǎo)體材料,包括:

氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。

 

半導(dǎo)體鍍膜:光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;

液晶顯示:間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導(dǎo)電膜;

光學(xué)鍍膜:硬涂層、抗反射層;

微電子系統(tǒng):光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板;

生物醫(yī)學(xué):醫(yī)療設(shè)備、Parylene

 

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