電子束光刻膠 AR-PC 5090.02, 5091.02（導(dǎo)電膠）

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更新時間：2024-02-19 18:49:09瀏覽次數(shù)：206次

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  光刻膠

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深圳市科時達(dá)電子科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

特點：? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應(yīng)? 通過旋涂的方式涂膠，操作簡單? 涂膠厚度：40nm @ 4000rpm? 電子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不損傷襯底材料? 對紫外光、電子束不敏感，無需黃光室 5090.02，適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等。

詳細(xì)介紹

特點：

? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應(yīng)

? 通過旋涂的方式涂膠，操作簡單

? 涂膠厚度：40nm @ 4000rpm

? 電子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不損傷襯底材料

? 對紫外光、電子束不敏感，無需黃光室

5090.02，適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等；

5091.02，適于酚醛樹脂基電子束光刻膠，如AR-N 7520