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德國(guó)尤尼坦 大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品 VPO-300

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快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

詳細(xì)介紹

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合大尺寸樣品的熱處理。


儀器特點(diǎn):

-  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;

-  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;

-  加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;

-  廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;



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