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布魯克Bruker Dektak XTL探針式輪廓儀

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Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門(mén)，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可限度地提高測(cè)試通量。

詳細(xì)介紹

Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門(mén)，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可限度地提高測(cè)試通量。

布魯克Bruker Dektak XTL探針式輪廓儀(圖1)


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