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YAMATO光刻膠固化爐DTPN-612GCT01

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浚和（上海）儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

性能（依JTM規(guī)格）使用溫度范圍：室溫+50～500℃溫度調(diào)節(jié)精度：±0.5℃（ａｔ450℃無負荷狀態(tài)下）溫度分布精度：±5℃（ａｔ450℃無負荷狀態(tài)下）JTM標準規(guī)定點根據(jù)有效尺寸1/6處

詳細介紹

性能（依 JTM 規(guī)格）
使用溫度范圍：室溫 +50～50 0℃
溫度調(diào)節(jié)精度： ±0. 5℃（ａｔ 45 0℃ 無負荷狀態(tài)下）
溫度分布精度： ±5℃（ａｔ 45 0℃ 無負荷狀態(tài)下）
JTM 標準規(guī)定點根據(jù)有效尺寸 1/6 處，含槽內(nèi)中心點共測量9點
運行：程序運行（升溫，恒溫，降溫，定時）
定時機能： 1min～99h59min，100～999h,
升溫速率： ≤40min ， (150～450℃≥7.5℃/min ，全程平均 )
潔凈度：溫度恒定時 100 級
氧濃度： 20 ppm 以下
真空度： 100Pa 以下
真空到達時間：約15min
工作狀態(tài)指示：觸摸屏上有工作過程（抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進入中 -結(jié)束）

構(gòu) 造
外裝材質(zhì) ：冷扎彩鋼板 ,表面噴塑
內(nèi)裝承壓體材質(zhì) ： SUS 316不銹鋼板，
斷熱材：硅酸鋁棉板
加熱器：鎧裝不銹鋼加熱管 380Ｖ 4.0KwX3=12Kw
加熱板220Ｖ 300 w X 14 = 4.2Kw
組合式送風機：離心風葉 φ230 X 130-1個，風量 L=1800m3/h
變頻調(diào)速電機380V （1450/min轉(zhuǎn)）
N2噴管： N2噴頭
水冷器： SUS盤管換熱器
過濾網(wǎng) ：耐高溫效過濾網(wǎng)HEPA( 過濾率0.3μm粒子99.9995％以上 )
門：單門正前面，門開口Ｗ660×Ｈ 660
外形尺寸：本體 W1150 ×D1215 ×H1697（設置時、以及突起物除外）
內(nèi)室尺寸： W600×D600×H600mm
容積： 216 L
棚受段數(shù) ： 17段/30mm （高度方向均分）
棚板數(shù)量： 2枚
N2外接進氣接頭：快換接頭φ10mm 一個。
冷卻水接頭：快換接頭φ10mm和φ16mm各一個。
測試孔：左側(cè) 1個 KF16 溫度分布精測試口、2個內(nèi)螺紋1/4的接頭，用于氧濃度和潔凈度的檢測。
電磁閥：控制真空、 N2 、水的通斷時序。
重量 : 320g
電源：AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

計裝
溫度調(diào)節(jié)器：液晶觸摸屏加PLC, ＰIＤ控制，液晶顯示，觸摸按鍵設置。
溫度傳感器：Ｋ型熱電偶4支
壓力控制儀：數(shù)字式
壓力變送器：相對值壓力變送器
壓差計：用于測量內(nèi)槽與空調(diào)間之的壓差以此為依據(jù)來判定過濾器是否需清潔。
變頻器：用與調(diào)節(jié)風機轉(zhuǎn)速（由觸摸屏設定風機頻率）
玻璃轉(zhuǎn)子流量計： a.300L/min用于快速并保證槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下。
b.15-25L/min用于維持槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下，另加預熱器保證進入槽內(nèi)N2溫度在槽內(nèi)設定溫度，不干擾槽內(nèi)的均勻度。
氧濃度分析儀：檢測槽內(nèi)氧濃度，20ppm以下在加熱，
真空泵：愛發(fā)科雙級有油旋片式真空泵
溫度過升防制器：用于溫度異常過升的防止，
電磁閥：用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開閉。
強制門鎖緊： 2處

保護裝置
漏電保護開關(guān) ：本體 380Ｖ漏電保護開關(guān)
漏電，短路，過電流保護
額定感度電流 30mA
過熱防止回路：溫度異常過升時，加熱器電源斷開、電機風葉動作，并報警
送風機電機：當電機過負荷時、加熱器電源斷開保護回路，并報警
N2異常：氮氣流量不足，加熱停止，并報警
冷卻水異常：流量不足，報警
門鎖：工作時門自動鎖
門開關(guān) ：門未關(guān)閉好，機器不會啟動，按啟動鍵，給出報警。
異常顯示：當上述異常發(fā)生時、觸摸屏上報警提示框異常顯示故障內(nèi)容，蜂鳴器響。