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行業(yè)產(chǎn)品

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PPR系列過程檢測系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間:2023-12-11 12:44:54瀏覽次數(shù):101次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:73條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:韓經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量·2 秒響應(yīng)時間 (0.1 Torr)·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)·6個數(shù)量級的動態(tài)范圍·RGA Windows 軟件

詳細(xì)介紹

商品描述

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力

·3 × 10 -5  Torr-L/s 流量

·2 秒響應(yīng)時間 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)

·6個數(shù)量級的動態(tài)范圍

·RGA Windows 軟件



PPR 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR 過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑:用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微孔,設(shè)計用于在以下壓力之一下運行:0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力(約10-6 Torr)。該壓降由由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成的泵送系統(tǒng)維持。兩個泵都是無油的,不會污染您的過程。

連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進(jìn)行配置(參見圖紙)。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。

該軟件用于在各種模式下操作儀器,包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是 PPR 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時已組裝和校準(zhǔn),可以連接到您的真空處理室。

幾何A

幾何 B



PPR 規(guī)格

表現(xiàn)

氣體流量3 × 10 -5 mbar-L/s,減壓入口處于活動狀態(tài)
響應(yīng)時間0.1 mbar 入口壓力下 2 秒(隨壓力成線性比例)
啟動時間標(biāo)稱 8 分鐘

連接

進(jìn)口2.75" CF法蘭,帶通孔可旋轉(zhuǎn)
渦輪泵到控制器6 英尺電纜(已提供)
渦輪增壓到前級泵6 英尺軟管(提供),
1/4" ID × 7/16" OD
電腦接口RS-232C(28,800 波特,9 針 D 連接器)
軟件RGA Windows 應(yīng)用程序

高真空混合渦輪分子/阻力泵,70 L/s,
極限壓力2 × 10 -9  mbar
后盾極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護(hù)等級 IP44
冷卻需要強(qiáng)制風(fēng)冷

一般的

電源要求110 VAC @ 60 Hz,
220 VAC @ 50 Hz
(不可現(xiàn)場選擇,300 W)
方面因配置而異
(請參閱示例配置)
重量16 磅。(渦輪泵、旁通閥和三通,RGA)
33 磅。(隔膜泵和控制器)
保修單一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。


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