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OLS5000 3D測量激光顯微鏡

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更新時間：2023-12-15 21:39:44瀏覽次數：169次

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產品簡介

LEXTOLS50003D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(tǒng)（彩色成像光學系統(tǒng)和激光共焦光學系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像

詳細介紹

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(tǒng)（彩色成像光學系統(tǒng)和激光共焦光學系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關鍵價值：

捕捉任意表面形狀
快速獲得可靠數據
使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可
測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

價值1：捕捉任意表面形狀。

OLS5000顯微鏡

OLS5000顯微鏡的技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數據

快速獲得可靠數據

該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，終實現(xiàn)生產力的提升。

價值3、使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可

OLS5000顯微鏡測量樣品

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能，因而無需進行復雜的設置調整。甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品，而工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學系統(tǒng)]

激光共焦光學系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實現(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據非連續(xù)的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）。

主機規(guī)格：

型號		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
總倍率		54x - 17,280x
視場直徑		16 μm - 5,120 μm
測量原理	光學系統(tǒng)	反射式共焦激光掃描激光顯微鏡反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡彩色彩色DIC
	光接收元件	激光：光電倍增管（2ch）色彩：CMOS 彩色相機
高度測量	顯示分辨率	0.5 納米
	動態(tài)范圍	16 位
	可重復性 n-1 1 2 *6	20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
	精度 1 3 *6	測量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 4 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
	測量噪聲（SQ 噪聲）1 5 *6	1 納米
寬度測量	顯示分辨率	1 納米
	可重復性 3 n-1 1 6	20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
	精度 1 3 *6	測量值 +/- 1.5%
	拼接圖像精度 1 3 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
單次測量時測量點的數量		4096 x 4096 像素
測量點的數量		3600 萬像素
XY 載物臺配置	長度測量模塊	•	無	無	•	無
	工作范圍	100 x 100 mm 電動	100 x 100 mm 手動	300 x 300 mm 電動	100 x 100 mm 電動	100 x 100 mm 手動
樣品高度		100 mm	30 mm	30 mm	210 mm	140 mm
激光光源	波長	405 nm
	輸出	0.95 mW
	激光分類	2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源		白光 LED
電氣功率		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
質量	顯微鏡主體	約 31 公斤	約 30 公斤	約 50 公斤	約 43 公斤	約 39 公斤
	控制器	約 12 公斤