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供應(yīng)百級無塵烘箱生產(chǎn)

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產(chǎn)品型號COL-2D-PC

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廠商性質(zhì)其他

所在地常州市

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更新時間：2025-04-21 12:00:54瀏覽次數(shù)：118次

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上海旦順實業(yè)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：219條

所在地區(qū)：江蘇常州市

聯(lián)系人：蔣小姐

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產(chǎn)品簡介

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖恪⒉僮骱唵?、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

詳細(xì)介紹

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 10/Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；

4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)