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球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

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產品簡介

標配日立生產的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）采用全新構造的機體外殼蓋配備日立生產的高性能樣品桿*

詳細介紹

概述

產品參數(shù)

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術。
對于包括用戶在內的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

※
附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。

標配日立生產的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
采用全新構造的機體外殼蓋
配備日立生產的高性能樣品桿*

產品參數(shù)

主要規(guī)格

項目		內容
電子源		W（310）冷陰極場發(fā)射型
加速電壓		200 kV、60 kV*1
圖像分辨率	STEM	0.078 nm（ADF-STEM圖像）
圖像分辨率	TEM	0.102 nm（晶格像）
倍率	STEM	×20～×8,000,000
倍率	TEM	×100～×1,500,000
樣品微動	樣品臺	偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺
	樣品尺寸	3 mm Φ
	移動范圍	X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
	樣品傾斜	α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
像差校正器		配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標配）
圖像顯示	PC	Windows® 7 *2
	顯示器	27英寸寬屏液晶顯示器（機體控制顯示器、第二顯示器*1）
	攝像頭	標配伸縮式攝像頭屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）

機體尺寸/重量

項目	寬度×進深×高度（mm）	重量（kg）
鏡體（含電子槍）	1,060×1,742×2,970	1,940
機體外殼蓋	1,678×1,970×3,157	429
操作臺	1,400×819×740	132
擴展操作臺*1	580×819×740	53
FE槽	1,041×840×1,317	482
V0槽	398×630×1,046	164
控制電源	1,400×693×816	173
像差校正器電源	606×529×1,096	81
排氣系統(tǒng)電源	913×663×1,790	378
轉向系統(tǒng)電源	913×663×1,790	394
配重塊	280×130×130	23
Gatan控制器13	576×648×1,173	150
冷卻水控制裝置	470×540×350	25
冷卻水循環(huán)裝置13	970×970×1,064	95
干式泵*1	252×400×336	23
空壓機*1	275×560×576	25

安裝條件

項目		內容
室溫		15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內）
濕度		40～60% RH
電源	機體	單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 斷路器容量 50 A
電源	冷卻水循環(huán)裝置13	三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
接地		D種接地（100 Ω以下）
冷卻水	水量	5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng) （水壓0.25 MPa）
冷卻水	水溫	16～18℃（變動：±0.1℃以內）
氣體	SF6	99.9%以上、180 k～200 kPa
	干氮	99.9%以上、0～100 kPa
	壓縮空氣	600 k～800 kPa