產(chǎn)品來源： /solutions/ffs/

FM-FFS200三維面型檢測系統(tǒng)產(chǎn)品概述

產(chǎn)品功能

光學(xué)元件表面的三維面型測量、面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評價(jià)

檢測對象

自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、玻璃面板、透鏡、精密磨具、晶圓硅片等

面向行業(yè)

HUD、AR、精密光學(xué)及3D曲面玻璃等領(lǐng)域的生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)

FFS三維面型檢測系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)

1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場 3D 輪廓測量。

2、測量過程簡單,無需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測量時(shí)間一般小于 20 秒；檢測效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于三坐標(biāo)和 UA3P 等接觸式三維檢測設(shè)備，適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。

3、基于CAD模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對分析，可自動完成面型質(zhì)量評價(jià)，輸出信息完善：

包含完善的3D誤差分布圖、上下公差比例計(jì)算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。

4、完備的擬合分析：xy 多項(xiàng)式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。

5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點(diǎn)，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷。可以提供暗場缺陷分析。可以根據(jù)用戶需求開發(fā)統(tǒng)計(jì)功能。

6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報(bào)告。

7、單點(diǎn)車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點(diǎn)車反射鏡面型誤差測量結(jié)果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um

8、完善的測量輸出功能（測量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測報(bào)告輸出以及 Log 統(tǒng)計(jì)文件輸出），可根據(jù)用戶需求訂制輸出報(bào)告的內(nèi)容格式。

FFS三維檢測系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

測量模塊

技術(shù)指標(biāo)

1、光學(xué)自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)（標(biāo)準(zhǔn)模式）

標(biāo)準(zhǔn)模塊

特點(diǎn)：

• 大視場，適應(yīng)大多數(shù)反射鏡零件測量
• 測量視場:400x250mm，橫向采樣分辨率達(dá)到 0.2mm
• 光學(xué)面型數(shù)據(jù)單次測量不確定度: +/-2um，樣品傾角范圍+/-15度
• 包含研究型檢測功能和一鍵式檢測功能

2、高分辨測量模式，鏡面三維檢測

標(biāo)準(zhǔn)模塊

特點(diǎn)：高橫向分辨率、較高陡度、適合較大陡度和凸面測量

高分辨測量模式技術(shù)參數(shù)：

• 測量視場： 300mmx150mm 橫向采樣可達(dá) 0.05mm
• 光學(xué)面型單次測量不確定度: +/-2um
• 陡度范圍+/-30 度

3、結(jié)構(gòu)光測量模式，漫反射表面三維檢測

可選購，集成于模塊 1 中

特點(diǎn)：鏡面噴粉測量、漫反射表面檢測、夾具檢測

結(jié)構(gòu)光漫射表面三維測量技術(shù)參數(shù)：

• 單次測量區(qū)域：150mmX150mmX50mm（可拼接）
• 測量精度 0.01mm

4、在線型測量模式

• 可根據(jù)用戶需求定制
• 一鍵式三維面型測量及誤差分析（一般周期 40s 內(nèi)）
• 流水線式檢測
• 可根據(jù)用戶需求開發(fā)協(xié)作機(jī)械臂輔助無人化自動檢測