當(dāng)前位置：杭州華盼科技有限公司>>薄膜材料物性分析儀器>>薄膜熱應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)

薄膜熱應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)TST-1200

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地杭州市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

紡織服裝機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-08-23 12:38:54瀏覽次數(shù)：204次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自紡織服裝機(jī)械網(wǎng)

暫無信息

杭州華盼科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：420條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：錢經(jīng)理

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

詳細(xì)介紹

特點(diǎn):

1.獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

2.采用真空和低壓氣體保護(hù)，可進(jìn)行溫度范圍-100~1200°C（多種溫度范圍可選）的變溫測(cè)量

3.樣品快速熱處理和冷處理功能

4.溫度閉環(huán)控制保證的溫度均勻性和精度

5.實(shí)時(shí)的應(yīng)力、曲率VS溫度曲線

6.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全面積掃描

7.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析

8.測(cè)量功能：曲率、曲率半徑、薄膜應(yīng)力、薄膜應(yīng)力分布和翹曲等

9.氣體（氮?dú)?、氬氣和氧氣等?span lang="EN-US">Delivery系統(tǒng)

10.可采用泵入液氮冷卻,較大冷卻速率100°C/min

應(yīng)用:

TST用于科研或者生產(chǎn)企業(yè)中薄膜原位應(yīng)力監(jiān)測(cè)和控制。

TST應(yīng)用于金屬薄膜，介電薄膜、濾光片膜、平板玻璃、300mm半導(dǎo)體集成電路板、薄膜電池、MBE和MOCVD薄膜制備和退火過程的熱應(yīng)力監(jiān)控等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)	TST-1200
溫度范圍	-100~1200°C(多種溫度范圍可選)
溫度速率	加熱 >10°C/秒冷卻 600°C，較高50°C/分鐘；400°C到室溫，較高5°C/分鐘（可擴(kuò)展更快的升溫和降溫速率）
溫度均勻性	± 2 °C
溫度穩(wěn)定性	± 1 %
平均傾斜重復(fù)性	< 1μrad
平均曲率重復(fù)性	< 2×10-5 1/m
應(yīng)力測(cè)量范圍	幾十KPa ~ 幾十GPa
空間掃描分辨率（用戶可調(diào)）	高達(dá)1μm
曲率分辨率	室溫100Km，高溫20Km
實(shí)時(shí)熱應(yīng)力測(cè)量分析	30點(diǎn)/秒
真空腔室真空度	10 mTorr
測(cè)量基片尺寸	標(biāo)配200mm（100mm和300mm可選）