GEMS捷邁2200/2600系列潛水式傳感器GEMS捷邁2200/2600系列潛水式傳感器

潛水式傳感器 結合*的電子電路與*的CVD技術打造各種船用壓力傳感器。 目前壓力傳感器在船舶行業(yè)中執(zhí) 行各種任務，在極其苛刻的工況 下可靠運行。從燃料箱、液壓系 統(tǒng)儲罐和溢水報警系統(tǒng)到艙底、 飲用水儲水箱及冷卻系統(tǒng)，船用 傳感器都能*可靠地工作，應 對從泵機和閥門產(chǎn)生的液壓峰值 到溫度、機械沖擊和振動等 一切工況。 壓力傳感器能否在各種船舶工況 下可靠精確運行的關鍵因素是傳 感器膜片和電子封裝的結構方 式。如今的傳感器將*的化學氣相沉積技術與ASIC電路結合在一起，實現(xiàn)強大的功能。這些裝置 具有外形緊湊、精度高、遲滯好等特性，工作壽命超過數(shù)百萬次并可高效地制成潛水版本。 在我們揭開背后隱藏的奧秘之前，不妨先認識一下這些裝置的工作原理和應用。壓力傳感器的作用是 將壓力（通常為液體或氣體壓力）轉(zhuǎn)換為電信號以連續(xù)輸出到控制系統(tǒng)來提供精確的壓力狀態(tài)，使之 可以采取相應的控制。例如，壓力逐漸降低可能會觸發(fā)一系列逐步升級的報警信號，從而允許控制系 統(tǒng)在達到終的液位前采取適當?shù)拇胧?，觸發(fā)自動關閉。 在船舶應用中，壓力傳感器無處不在并經(jīng)受著各種惡劣工況的考驗，例如湍流液體、含雜質(zhì)液體、海 水、中間液相、高溫環(huán)境及高壓液體。在推進單元和齒輪箱等設備中，是否使用傳感器對機油、溫度 和離合器壓力進行監(jiān)測和管理會對性能和總效率造成深遠影響。 濺射薄膜技術 化學氣相沉積 (CVD) 電纜 導線管 大型DIN 壓力傳感器內(nèi)部包含一個細薄的密封傳感元件（又稱為膜片）與壓力 介質(zhì)直接接觸。膜片上的應變片在壓力的作用下發(fā)生壓縮或拉伸形 變，產(chǎn)生與加載壓力或真空度成比例的輸出電信號。該傳感器輸出與 板載電子電路相連，整體置于一個緊湊、密封的不銹鋼外殼之中。 濺射薄膜技術從作為一種制造工藝引入集成電路生產(chǎn)起發(fā)展至今已有 30多年，其原理是利用帶電粒子轟擊固態(tài)靶標材料釋放出原子，使之 沉積在傳感結構上形成薄膜，進而形成一定的傳感器圖案。在制造過 程中應用濺射薄膜涂層技術生產(chǎn)的傳感器靈敏而堅固，適合與幾乎所 這些裝置即使在船體*存在振動的情況下仍能持續(xù)提供準確讀數(shù)， 這一點在了解它們的靈敏度和測量精度后尤其令人印象深刻。壓力傳 感器的機械結構由多種材料制成，其輸出信號特別易受海洋溫度 和振動影響。不過，當前市場嶺先廠家都已成功克服了這些挑戰(zhàn)，紛 紛推出了超高性能的產(chǎn)品。 *傳感器之所以獲得成功歸功于三個因素：濺射薄膜技術、化學氣 相沉積 (CVD) 技術以及ASIC（特定用途集成電路）電子封裝。只有將 這些機械電子技術成功地結合在一起，才能使壓力傳感器具備如此精 確可靠的性能。 化學氣相沉積 (CVD) 技術是另一種高效的壓力傳感器制造方法， 所形成的產(chǎn)品具有精度高、遲滯性好的特點。CVD傳感器使用 多晶硅沉積在不銹鋼基板上，然后化學研磨出應變片圖案，在晶 圓上實現(xiàn)大批量生產(chǎn)，所以也是一種經(jīng)濟的制造方法。晶圓然后 被切割成單個傳感器梁，后者激光焊接到不銹鋼加總膜片和壓力 端口上，后與內(nèi)部信號調(diào)節(jié)和放大電路相連。這種工藝不僅提 高元件的精度和耐受性，而且還能通過大批量生產(chǎn)來降低單位成 本。 有液體、油和氣體直接接觸，由此所帶來的應用靈活性已成為壓力傳感器的一大優(yōu)勢。