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YAB-50/59 自動(dòng)上蠟機(jī)

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南通元興智能科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

元興智能提供貼蠟制程解決方案，襯底完成雙面研磨拋光或砂輪減薄后，利用蠟粘貼在陶瓷盤上，進(jìn)行DMP或CMP單面拋光，適用2英寸至8英寸襯底，該設(shè)備具有陶瓷盤自動(dòng)上載和卸載功能，均勻控制晶片蠟層厚度偏差2?。

詳細(xì)介紹

設(shè)備型號(hào)	YAB-50 自動(dòng)上蠟機(jī)	YAB-59自動(dòng)上蠟機(jī)
陶瓷盤規(guī)格(mm)	?360 或 ?485	?485 或 ?590
適用晶片尺寸	4~8英寸
陶瓷盤貼片數(shù)量	?485， 6片6英寸	?590， 5片8英寸
貼蠟型號(hào)	SKYLIUQUID ABR-4016
貼蠟厚度	<2?
每片貼蠟時(shí)間	30秒
設(shè)備電源	380V 3P 50/60Hz
壓縮空氣	5kgf / cm2 ( Oil less )
PCW	5-20L/min,0.1-0.3MPa
設(shè)備尺寸(mm)	2800(W)×2200(L)×2,300(H)
設(shè)備重量	2,000kg
主要功能	陶瓷盤和晶片自動(dòng)加載自動(dòng)排列晶片系統(tǒng) 液體蠟自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布和烘烤陶瓷盤預(yù)熱、陶瓷盤和晶片自動(dòng)冷卻 SMC氣動(dòng)元件，精準(zhǔn)氣囊加壓貼蠟三菱電機(jī)PLC控制系統(tǒng)
選配功能	自動(dòng)在線測(cè)厚