IoN 40等離子清洗機(jī)是為實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)領(lǐng)域涉及的全功能的等離子表面處理設(shè)備。該設(shè)備外觀簡潔、高度集成化，可應(yīng)用在半導(dǎo)體、醫(yī)療診斷、光學(xué)、電子等領(lǐng)域?qū)Ω鞣N材料的表面進(jìn)行去膠、清潔、化學(xué)修飾或涂層沉積。

詳細(xì)介紹

功能特性：
● 靈活的電極設(shè)計(jì)保證了工藝的均勻性
● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制
● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）
● 菜單驅(qū)動(dòng)式工藝過程
● 繪圖和自診斷功能
● 以太網(wǎng)通訊功能
● 節(jié)能模式
● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
● 安裝簡單快捷

規(guī)格參數(shù)
工作腔室材料：                    鋁
容積： 36.5 升
內(nèi)部尺寸：                  229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　
可選電極
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級(jí)等離子體電極

工藝氣體
質(zhì)量流量控制計(jì)：                           最多至6路氣體
工藝壓力：                                         200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時(shí)間：        大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣：可調(diào)
射頻發(fā)生器：                                      風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源：　　　　　                     220V 單相,2.3 KW, 50Hz
工藝氣體：                                         輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體：                                         輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣：                                         輸入壓力 4-6 bar
尺寸：                                            寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量：                                               約157千克（不含泵）

可選項(xiàng)
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測器
● 300 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 單體處理裝置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 氣相MFC