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昆山普樂斯電子科技有限公司


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【普樂斯】半導(dǎo)體真空等離子清洗機(jī)設(shè)備 VPC-500F8

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更新時(shí)間:2024-03-16 19:40:07瀏覽次數(shù):220次

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產(chǎn)品簡介

品牌:普樂斯名稱:半導(dǎo)體真空等離子清洗機(jī)設(shè)備型號:VPC-500F8功率: 整機(jī)峰值功率7KW用途:各種半導(dǎo)體封裝廠家定制,用于打線、封膠、植球前的基板清洗,提高產(chǎn)品良率;對于銅支架打銅線的工藝效率尤為明顯。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

v觸摸屏操作界面
v數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
v三色燈異常報(bào)警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出(可選)
v特殊電極、氣路設(shè)計(jì),均勻性好
v平板式、滾輪式載具平臺(可選)
v適用半導(dǎo)體封裝引線框架的批量處理

產(chǎn)品參數(shù)

型號 VPC-500F8
控制系統(tǒng) 控制方式 全自動控制(自動/手動切換)
PLC(標(biāo)配)/PC(可選)
操作系統(tǒng) Windows 10
觸摸屏 7寸
整機(jī)規(guī)格 尺寸 W1150×D1400×H1720mm
腔體 尺寸 W500×D636×H520mm
材質(zhì) 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選)
電極 結(jié)構(gòu)尺寸 組合柜式, W458×D544×H425mm
分隔數(shù)量 8個料盒
托架 材質(zhì) 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選)
形狀 平板式/滾輪式(可選)
真空計(jì) 皮拉尼式真空計(jì) 1個
流量計(jì) MFC質(zhì)量流量控制器 2個;Ar、N2、H2(可選)
真空泵 機(jī)械油式旋片泵 1套
發(fā)生器 中頻/射頻 40KHz,0~1000W 13.56MHz,0~1000W
額定功率 整機(jī)峰值功率 7KW
機(jī)臺供電 三相五線式 AC-380V
選購品 干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵(泵組)、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件

注:以上參數(shù)僅供參考,本公司可能對相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。

工作原理

在真空狀態(tài)下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用高頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體,然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì),然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去,從而達(dá)到表面清潔、活化等目的。如圖所示:
真空等離子工作原理

應(yīng)用領(lǐng)域

1. 引線框架

銅引線框架:處于對性能和成本的考慮,微電子封裝領(lǐng)域目前主要采用導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性、加工性能良好的銅合金材料作為引線框架。銅的氧化物與其它一些有機(jī)污染物會造成密封模塑與銅引線框架的分層,造成封裝后密封性能變差與慢性滲氣現(xiàn)象,同時(shí)也會影響芯片的粘接和引線鍵合質(zhì)量,銅引線框架經(jīng)過等離子表面處理,可去除有機(jī)物和氧化層,同時(shí)活化和粗化表面,確保打線和封裝的可靠性。

2. 引線鍵合

引線鍵合:引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性影響,鍵合區(qū)必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在,如氧化物、有機(jī)污染物等都會嚴(yán)重削弱引線鍵合的拉力值。半導(dǎo)體封裝等離子表面處理設(shè)備能有效去除鍵合區(qū)的表面污染物并使其粗糙度增加,能明顯提高引線的鍵合拉力,極大的提高封裝器件的可靠性。

3. 倒裝芯片封裝

倒裝芯片封裝:隨著倒裝芯片封裝技術(shù)的出現(xiàn),半導(dǎo)體封裝等離子表面處理設(shè)備清洗已成為其提高產(chǎn)量的必要條件。對芯片以及封裝載板進(jìn)行等離子表面處理,不但能得到超凈化的焊接表面,同時(shí)還能大大提高焊接表面的活性,這樣可以有效防止虛焊和減少空洞,提高填充料的邊緣高度和包容性,改善封裝的機(jī)械強(qiáng)度,降低因不同材料的熱膨脹系數(shù)而在界面間形成內(nèi)應(yīng)的剪切力,提高產(chǎn)品可靠性和壽命。

4. 陶瓷封裝

陶瓷封裝:陶瓷封裝中通常使用金屬漿料印制線路板作鍵合區(qū)、蓋板密封區(qū)。在這些材料的表面電鍍Ni、Au前采用等離子表面處理設(shè)備清洗,可去除有機(jī)物鉆污,明顯提高鍍層質(zhì)量。

快速反應(yīng),專業(yè)配合,精心打造服務(wù)生態(tài)鏈

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