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HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì)

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HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì) INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計(jì) 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個(gè)單個(gè)緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測(cè)量 2×10-6毫巴至大氣壓（1.5×10-6托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計(jì)為精確的濺射過(guò)程壓力控制提供重復(fù)測(cè)量并再現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)。

詳細(xì)介紹

益處

HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
高壓熱電離真空計(jì)可以準(zhǔn)確可靠地測(cè)量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過(guò)程控制
用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動(dòng)
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過(guò)早燒毀
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
工業(yè)鍍膜
低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型		HPG400
測(cè)量范圍（空氣，N2）		2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 (1)
可重復(fù)性
10-5 … 10-1 毫巴	% of reading	2
10-1 … 100 毫巴	% of reading	30
熱離子發(fā)射，可選：
選購(gòu)件 1	mbar	1
選購(gòu)件 2	mbar	5×10-1
選購(gòu)件 3	mbar	2×10-1
選購(gòu)件 4	mbar	1×10-1
選購(gòu)件 5	mbar	5×10-2
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào)	V	0 … +10.2
測(cè)量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
測(cè)量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
電壓比壓強(qiáng)熱陰極	volts per decade	1
電壓與壓強(qiáng)皮拉尼	volts per decade	0.25
錯(cuò)誤信號(hào)熱陰極	V	0.3
錯(cuò)誤信號(hào)皮拉尼	V	0.5
最小負(fù)載電阻	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保護(hù)等級(jí)		IP30
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器