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DVH系列隔膜閥

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產(chǎn)品簡介

工作壓力:真空至300psig｜材質(zhì):316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~70℃

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

DVH 系列隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。

主要部件材料

閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE

閥體 6063

工作條件

工作壓力真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.5
工作溫度 -10 ～ 70℃
內(nèi)漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.1μm

產(chǎn)品特點(diǎn)

適合超高純度氣體應(yīng)用

手柄帶開關(guān)狀態(tài)指示窗口

手柄可旋轉(zhuǎn)角度為 180° ( 可選 90° )

手柄通過提拉后方可旋轉(zhuǎn)開啟，操作安全

每臺閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測

超長使用壽命（50 萬次實(shí)驗(yàn)值）

可選配防誤操作 -LOTO

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