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低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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所在地區(qū):廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

低壓化學(xué)氣相沉積(LowPressureChemicalVaporDeposition,LPVD)是指在較低氣壓下環(huán)境進(jìn)行薄膜沉積,可進(jìn)行大面積小批量樣品沉積

詳細(xì)介紹


低壓化學(xué)氣相沉積(Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPVD)是指在較低氣壓下環(huán)境進(jìn)行薄膜沉積,可進(jìn)行大面積小批量樣品沉積。


技術(shù)參數(shù):

1 基片尺寸可定制,可達(dá)10 英寸;

2 加熱溫度 1700 ℃,單溫區(qū)或者多溫區(qū)可選;

3 最多可配置6路工藝氣體;

4 配備油泵或者干泵,可選配分子泵;

5 樣品水平,垂直兩種配置模式;

6 可小批量量產(chǎn);


應(yīng)用領(lǐng)域:

LPCVD

退火

擴(kuò)散

氧化

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