標(biāo)準(zhǔn)型半導(dǎo)體檢測 TBM-600詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
一、儀器用途
TBM-600 半導(dǎo)體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn)，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
采用無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)及模塊化功能設(shè)計(jì)。長工作距離明，視場大而清晰。廣角平場目鏡：視場直徑Ф22mm。粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm。內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可360°旋轉(zhuǎn)。上光源采用翻蓋式12V50W鹵素?zé)粝?，更換燈炮安全便捷，下光源采用12V/30W鹵素?zé)簦友b散熱片。三目鏡筒可自由切換目視觀察與顯微攝影，攝影時(shí)可99%通光。
三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 平場目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 孔徑數(shù)值 | 工作距離(mm) |
| 無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.2 | |
| 40X | 0.60 | 3.0 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機(jī)械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),內(nèi)置視場光欄, 藍(lán)濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍(lán),綠,磨砂)
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機(jī)械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),內(nèi)置視場光欄, 藍(lán)濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍(lán),綠,磨砂)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-600):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù)
TBM-600型：503500倍
六、選購件
1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 80X 3.二維測量軟件
