高檔型半導(dǎo)體檢測 TBM-800詳細技術(shù)參數(shù)
一、儀器用途
TBM-800 半導(dǎo)體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導(dǎo)體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實驗室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點
配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。配置大移動范圍的載物臺，能快速和慢速移動。粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶鎖緊和限位裝置，微動格值:2μm。6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)。三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，可進行99%透光攝影。不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 孔徑數(shù)值 | 工作距離(mm) |
| 長距平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.2 | |
| 40X | 0.60 | 3.0 | |
| 80x | 0.80 | 1.2 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.載物臺:三層機械移動式，尺寸: 250mmX230mm,移動范圍: 154mmX154mm
7.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)；帶視場光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍,綠,磨砂)
10.防霉系統(tǒng)
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.載物臺:三層機械移動式，尺寸: 250mmX230mm,移動范圍: 154mmX154mm
7.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)；帶視場光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍,綠,磨砂)
10.防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-800):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù)
TBM-800型:503500倍
六、選購件
1.目鏡:16X 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 100X 3.二維測量軟件
