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磐石創(chuàng)新（江蘇）電子裝備有限公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地徐州市
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更新時間：2023-10-09 12:17:17瀏覽次數(shù)：244次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)第二代半導(dǎo)體材料全自動清洗機(jī)采用模塊化設(shè)計，廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域，*的清洗工藝有效去除了晶片表面的細(xì)微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留物等問題。高精度全自動配藥系統(tǒng)，可針對不同工藝要求對藥液比例精準(zhǔn)配比。
第二代半導(dǎo)體材料全自動清洗機(jī)采用模塊化設(shè)計，廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域，*的清洗工藝有效去除了晶片表面的細(xì)微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留物等問題。高精度全自動配藥系統(tǒng)，可針對不同工藝要求對藥液比例精準(zhǔn)配比。
設(shè)備介紹
1、設(shè)備用途：用于硅、藍(lán)寶石、GaAs晶片清洗及烘干工藝。
2、適用工藝：集成電路領(lǐng)域：膜前清洗、去膠清洗、外延前清洗。
3、槽體布局：單排十二槽位。
4、清洗能力：5min/100片。
5、自動化程度：工藝過程自動/手動可切換控制。
設(shè)備特點(diǎn)
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