磐石創(chuàng)新（江蘇）電子裝備有限公司
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所 在 地徐州市
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更新時間：2023-10-09 12:18:40瀏覽次數(shù)：111次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機設備特點
· 可以快速拆卸更換轉子；
· 采用直驅式高性能無刷電機；
· 設備正常穩(wěn)定工作時間≥95%，碎片率低于千分之一；
· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面無水漬、無污染物；
· 整機采用進口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴；
· 氣動控制部件采用進口SMC壓力開關/電磁閥；
· 電源主空氣開關帶漏電保護；
· 當設備出現(xiàn)異常時,按急停按鈕可停機；
· 動力條件監(jiān)測及報警；
· 加熱系統(tǒng)超溫保護；
· 門禁/擺正監(jiān)測報警。
技術參數(shù)
| 設備結構 | 單腔室 |
| 自動化程度 | 全自動 |
| 清洗對象 | 2-8寸晶片 |
| 清洗能力 | 單腔室2-8寸/1籃，25片/藍 雙腔室2-8寸/2籃，25片/藍 |
| 配套花籃 | 對應轉子同尺寸Entegris(25pcs)花籃（可訂制） |
| 配套轉子 | 對應標準尺寸Entegris(25pcs)花籃（可訂制） |
| 馬達額定轉速 | 300-2800轉/min，馬達轉速：3000轉/min |
| 電氣控制方式 | 人機界面+ PLC可編程控制器（最多可存儲10套程序，每套程序8個步驟）可顯示并記錄最近10條報警內容 |
| 設備外形尺寸 | PS-1600：單腔室-長X寬X高(單位mm)= 720X450X1510 雙腔室-長X寬X高(單位mm)= 820X450X1810 PS-1800：單腔室-長X寬X高(單位mm)= 760X520X1630 雙腔室-長X寬X高(單位mm)= 860X520X1830 |
| 修面速度 | 0-250mm/min |
| 外形尺寸 | 1050mm x 1600mm x 1700mm |
| 設備重量 | 1800kg |
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